第187章 极紫外光源的进展
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光学技术研发实验室
徐华和李默这两位负责人正在为极紫外光源技术的几个问题进行讨论。
“李博士，虽然我们有复眼镜头的加持，但是在靶材、碎屑污染也是问题啊！”
徐华有些犯愁。
虽然说蜂巢复眼镜头技术的出现，从某种程度上解决了极紫外光源的核心镜片问题，但是仍旧有一些问题存在。
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众所周知，euv极紫外光刻机最为关键的部件就是极紫外光源，这就不用多说了。
而极紫外光源主要有五大关键的问题技术需要攻破，才能正式制造出该光源。
其一是多层膜反射镜，由于euv光源子能量极高，几乎可被所有介质所吸收，较高的反射率可以极大提高光源性能�
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